MEMS&マイクロ流路形成用 感光性永久膜材料

特長

  •  高解像・高密着性を有し、高アスペクトのパターン形成が可能なネガ型感光性永久膜
  •  液タイプ(TMMRTM S2000)とフィルムタイプ(TMMFTM S2000)との組み合わせにより中空構造を形成可能
  •  MEMSデバイスやバイオチップのマイクロ流路の形成にも適用ができ、従来の犠牲膜法と比較し大幅な
    工程簡素化が可能
  •  極めて低い細胞毒性
  • ※Cytotoxicity was tested according to the ISO 10993-5 standard. IC50 (50% inhibitory concentration) : >100%

 

中空構造形成

・ TMMFTM S2000 シリーズ : フィルムタイプ

・ TMMRTM S2000 シリーズ : 液状タイプ

 

用途例

  •  MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
  •  バイオチップ(μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス)

 

硬化膜物性 ・ 薬液耐性


 

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