熱硬化後薬液耐性

カテゴリ 薬液種 浸漬条件 結果
溶剤 Acetone 23 ℃-3 h 変化なし
IPA 23 ℃-3 h 変化なし
NMP 23 ℃-3 h 変化なし
アルカリ水溶液 5% NaOH 23 ℃-4 h 変化なし
TMAH 2.38% 23 ℃-3 h 変化なし
酸水溶液 5% H2SO4 23 ℃-3 h 変化なし
5% HCl 23 ℃-3 h 変化なし

 

TMMFTM S2000 & TMMRTM S2000 シリーズ に関するお問い合わせ

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