特長

  •  ウエハレベルでのマイクロ流路の製造が可能な感光性接着材料
  •  フォトリソグラフィによるパターニングと基板接合が一つの材料で可能
  •  極めて低い細胞毒性
  • ※Cytotoxicity was tested according to the ISO 10993-5 standard. IC50 (50% inhibitory concentration) : >100%

 

感光性接着材料

 

接着強度

基板
Si ガラス
接着強度 (Kgf/cm2) 60.4 60.1

 

パターン形成

感光性接着材料パターン形成

パターンサイズ : 10 µm, 膜厚 : 50 µm

 

用途例

  •  MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
  •  バイオチップ(μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス)

 

硬化膜物性 ・ 薬液耐性


 

感光性接着材料 に関するお問い合わせ

WEBからのお問い合わせ

東京応化工業株式会社 新事業開発部  TEL 0467-75-9916
※ 営業時間 8:30~17:15 (土・日・祝祭日・その他特定日は除きます)