熱硬化後薬液耐性

カテゴリ 薬液種 浸漬条件 結果
溶剤 NMP 80 ℃-15 min 変化なし
GBL 80 ℃-15 min 変化なし
EL 23 ℃-15 min 変化なし
Acetone 23 ℃-15 min 変化なし
PGMEA 23 ℃-15 min 変化なし
IPA 23 ℃-15 min 変化なし
DMSO 80 ℃-15 min 変化なし
アルカリ水溶液 25% NaOH 40 ℃-10 min 変化なし
10% KOH 40 ℃-10 min 変化なし
TMAH 2.38% 40 ℃-10 min 変化なし
酸水溶液 H2SO4/H2O2 40 ℃-10 min 変化なし
1% HF 23 ℃-5 min 変化なし

 

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